霧滴與塵粒徑相近時，更易于相撞而捕捉住塵粒。微米級干霧正是應用這一原理產生5μm以下，與超細的粉塵粒徑相近的霧滴來有效捕獲粉塵的。

　　而由于霧滴微細，部分霧滴會在空氣中迅速蒸發，使局部空間中的相對濕度迅速飽和，飽和后的水汽會以塵粒為核凝聚，使塵粒直徑不斷增大，直至落下。